Bộ lọc khí là một công cụ dùng cho phòng sạch, đặc biệt trong những ngành bán dẫn, sản xuất màn hình LCD... Nó có thể gắn lên trần phòng sạch hoặc gắn như một mô đun vào các thiết bị phòng sạch.
Phù hợp với các tiêu chuẩn: IEST-RP-CC002.2 và AS1386.5
Tiêu chuẩn khí sạch: ISO14664.1 Class 3, IEST-CC1001, IEST-G-CC1002 và tiêu chuẩn khí sạch khác.
Tiêu chuẩn màng lọc: IEST-RP-CC034.1, IEST-RP-CC007.1, IEST-RP-CC001.3 và EN1822.
Độ sạch trong vùng làm việc: theo tiêu chuẩn ISO14644.1 Class 3.
Phù hợp với các tiêu chuẩn: IEST-RP-CC002.2 và AS1386.5
Tiêu chuẩn khí sạch: ISO14664.1 Class 3, IEST-CC1001, IEST-G-CC1002 và tiêu chuẩn khí sạch khác.
Tiêu chuẩn màng lọc: IEST-RP-CC034.1, IEST-RP-CC007.1, IEST-RP-CC001.3 và EN1822.
Độ sạch trong vùng làm việc: theo tiêu chuẩn ISO14644.1 Class 3.